沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中国科学院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，科创板上市企业（股票代码：688037），专业从事半导体专用设备的研发、生产、销售和服务，致力于为客户提供半导体装备成套工艺解决方案。

公司深耕半导体专用设备研发制造领域23年，产品线主要分为前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装以及化合物等小尺寸设备等四大板块，形成了涂胶、显影、喷胶、去胶、清洗、湿法刻蚀、键合及解键合、划片裂片八大系列产品，海内外客户300余家。公司生产的前道涂胶显影设备已成功与光刻机联机运行，可提供量产型中高端涂胶显影设备；集成电路前道晶圆加工领域用物理清洗机已经达到国际先进水平，并成功实现国产替代。

2019年12月，芯源微成功在上交所科创板上市，成为辽宁省科创板“第一股”、半导体光刻设备“第一股”，2023年，经国家人社部批准设立博士后科研工作站，当前拥有员工1700余人，获得专利授权300余项。

公司多次承担国家重大专项，连续多年获评中国半导体设备行业十强，是国家首批专精特新小巨人企业和国家级制造业单项冠军企业，拥有国家级企业技术中心、省级重点工程实验室和专业技术创新中心等多项荣誉。